Isticmaalka tungsten hexafluoride (WF6)

Tungsten hexafluoride (WF6) waxaa lagu shubaa dusha sare ee wafer-ka iyada oo loo marayo habka CVD, iyadoo la buuxinayo godadka isku xirka birta, isla markaana sameysanaya isku xirka birta ee u dhexeeya lakabyada.

Aan marka hore ka hadalno balaasmaha. Balaasmaha waa nooc ka mid ah walxaha oo inta badan ka kooban elektaroono xor ah iyo ion la dallacay. Waxay si weyn uga jirtaa caalamka waxaana badanaa loo arkaa xaaladda afraad ee maaddada. Waxaa loo yaqaan xaaladda balaasmaha, oo sidoo kale loo yaqaan "Balaasmaha". Balaasmaha wuxuu leeyahay gudbin koronto oo sare wuxuuna leeyahay saameyn isku xidhnaan oo xooggan oo leh goob elektaroonik ah. Waa gaas qayb ahaan ionaysan, oo ka kooban elektaroono, ion, xagjirro xor ah, walxo dhexdhexaad ah, iyo footoonno. Balaasmaha laftiisu waa isku-darka dhexdhexaadka ah ee korontada oo ka kooban walxo firfircoon oo jireed iyo kiimiko ahaan.

Sharaxaadda tooska ah ayaa ah in iyadoo la adeegsanayo tamar sare, molecule-ku uu ka adkaan doono xoogga van der Waals, xoogga isku-xidhka kiimikada iyo xoogga Coulomb, wuxuuna soo bandhigi doonaa qaab koronto dhexdhexaad ah guud ahaan. Isla mar ahaantaana, tamarta sare ee dibadda laga helo ayaa ka gudubta saddexda awoodood ee kor ku xusan. Shaqada, elektaroonada iyo ion-yadu waxay soo bandhigaan xaalad xor ah, taas oo si macmal ah loogu isticmaali karo iyadoo la adeegsanayo habaynta goob birlab ah, sida habka etching semiconductor, habka CVD, habka PVD iyo habka IMP.

Waa maxay tamar sare? Aragti ahaan, heerkulka sare iyo heerka sare ee RF-ga ayaa la isticmaali karaa. Guud ahaan, heerkulka sare waa wax aan macquul ahayn in la gaaro. Shuruudahan heerkulka aad ayuu u sarreeyaa waxaana laga yaabaa inay u dhow yihiin heerkulka qorraxda. Asal ahaan waa wax aan macquul ahayn in lagu gaaro habka. Sidaa darteed, warshaduhu waxay badanaa isticmaalaan RF-ga heerka sare ah si ay u gaaraan. Plasma RF waxay gaari kartaa ilaa 13MHz+.

Tungsten hexafluoride waxaa lagu shubaa balaasma iyadoo la adeegsanayo goob koronto, ka dibna uumi ayaa lagu shubaa goob birlab ah. Atamyada W waxay la mid yihiin baalasha goose jiilaalka waxayna ku dhacaan dhulka iyadoo la adeegsanayo cufisjiidadka. Si tartiib tartiib ah, atamyada W waxaa lagu shubaa godadka dhex mara, ugu dambeyntiina waxaa lagu buuxiyaa godadka dhex mara Full through si ay u sameeyaan isku xir bir ah. Marka laga soo tago in atamka W lagu shubo godadka dhex mara, ma sidoo kale lagu shubi doonaa dusha sare ee Wafer-ka? Haa, hubaal. Guud ahaan, waxaad isticmaali kartaa habka W-CMP, kaas oo ah waxa aan ugu yeerno habka shiididda farsamada si looga saaro. Waxay la mid tahay isticmaalka xaaqin si loo nadiifiyo dhulka ka dib baraf culus. Barafka dhulka saaran waa la qaadaa, laakiin barafka ku jira godka dhulka ku yaal wuu sii jiri doonaa. Hoos, qiyaastii isku mid.