Adeegsiga Tungsten Hexafluoride (WF6)

Tungsten Hexafluoride (WF6) waxaa lagu shubaa dusha sare ee xaydha iyada oo loo marayo hanaanka CVD, oo buuxinaya xijaabka shaashadda birta, iyo sameynta is-dhexgalka birta ee u dhexeeya lakabyada.

Aynu marka hore ka hadalno Plasma. Plasma waa qaab muhiim ah oo inta badan ka kooban elektaroonig oo bilaash ah oo laga qaado ion. Waxay si ballaaran ugu jiraan adduunka oo badanaa loo arkaa inay tahay xaalada afaraad ee arrimaha. Waxaa lagu magacaabaa gobolka plasma, oo sidoo kale loo yaqaan "plasma". Plasma waxay leedahay wadooyin sare oo koronto ah waxayna saameyn adag ku leedahay goobta elektaroonigga ah. Waa gaas qayb ahaan ionied, oo ka kooban elektaroonig, ion, ion, xagjirnimo bilaash ah, walxaha dhexdhexaadka ah, iyo sawirrada. Plasma lafteedu waa isku-dhaf isku-dhafan oo dhexdhexaad ah oo ay kujiraan walxaha jir ahaaneed oo kiimiko ah.

Sharaxa tooska ah ee tooska ah ayaa ah in ay ku hoos jirto ficilka tamar sare, molecule-ka wuxuu ka adkaanayaa ciidamada van der, ee kiimikada kiimikada iyo qasabka korantada, oo ay soo bandhigaan nooc koronto dhexdhexaad ah guud ahaan. Isla mar ahaantaana, tamarta sare ee ay soo saartay dibedda ayaa ka adkaata saddexda ciidan ee kor ku xusan. Shaqada, elektaroonigga ah iyo ilmadaani waxay soo bandhigaan dowlad xor ah, oo si dabiici ah loogu isticmaali karo isbadalka dhul magnetic, sida geedi socodka semiconductor, geedi socodka cvd, geedi socodka CVD, PVD iyo hanaanka impd.

Waa maxay tamar sare? Fikrad ahaan, labadaba heerkul sare iyo soo noqnoqoshada sare ee RF waa la isticmaali karaa. Guud ahaan marka lagu hadlayo, heerkul sarreeya ayaa inta badan aan macquul aheyn in la gaaro. Shuruuda heerkulkan ayaa aad u sarreeya oo waxaa laga yaabaa inay ku dhowdahay heerkulka qorraxda. Asal ahaan waa wax aan macquul aheyn in lagu gaaro hawsha. Sidaa darteed, warshadaha ayaa caadiyan adeegsanaya rf-ka-sare ee rf si loo gaaro. Plasma rf waxay gaari kartaa ilaa 13mhz +.

Tungsten Hexafluolide waxaa ku yaal ficilka ku yaal ficilka beer korantada, ka dibna uumiga uumiga ku shubaa dhul magnetic. Womplos-ka waxay la mid yihiin baalal jilicsan xilliga qaboobaha oo dhulka ku dhacaya iyada oo la raacayo ficilka culeyska. Si tartiib ah, atomyada W waxaa lagu shubaa godad iyada oo loo marayo godad, ugu dambayntiina waxaa ka buuxsamay godad si ay u sameeyaan is-dhexgalka birta. Marka lagu daro dhigashada atomyada madhan ee godad, miyaa sidoo kale lagu keydin doonaa dusha sare ee xarkaha? Haa, xaqiiqdii. Guud ahaan, waxaad isticmaali kartaa nidaamka W-CMP, taas oo ah waxa aan ugu yeerno hanaanka farsamada farsamada si meesha looga saaro. Waxay la mid tahay adeegsiga broom si ay sagxadda dhulka u dhigaan ka dib baraf culus kadib. Barafka dhulka jooga ayaa la tirtirayaa, laakiin barafka godka dhulka ku jira ayaa sii jiri doona. Hoos u dhaca, si isku mid ah.