Isticmaalka tungsten hexafluoride (WF6)

Tungsten hexafluoride (WF6) waxa lagu kaydiyaa dusha sare ee waferka iyada oo loo marayo habraac CVD, buuxinta godadka isku xidhka birta, iyo samaynta isku xidhka birta ee lakabyada dhexdooda.

Marka hore aan ka hadalno plasma. Plasma waa nooc ka mid ah maatar inta badan ka kooban elektaroono bilaash ah iyo ion lacag la'aan ah. Waxay si balaadhan uga jirtaa caalamka waxaana inta badan loo arkaa inay tahay xaalada afraad ee walaxda. Waxaa loo yaqaan gobolka Plasma, oo sidoo kale loo yaqaan "Plasma". Plasma waxay leedahay koronto-dhal sare leh waxayna leedahay saameyn isku xiran oo xooggan oo leh goobta korantada. Waa gaas qayb ahaan ionized, oo ka kooban elektaroono, ion, xagjiryo xor ah, qaybo dhexdhexaad ah, iyo photons. Plasma lafteedu waa isku dhafka korantada dhexdhexaadka ah oo ka kooban qaybo jireed iyo kiimiko ahaan firfircoon.

Sharaxaada tooska ah ayaa ah in marka la eego ficilka tamarta sare, molecule-ku wuxuu ka adkaan doonaa xoogga van der Waals, xoogga curaarta kiimikada iyo xoogga Coulomb, oo soo bandhiga qaab koronto dhexdhexaad ah oo dhan. Isla mar ahaantaana, tamarta sare ee dibedda laga keeno waxay ka gudubtaa saddexda awood ee kor ku xusan. Shaqada, electrons iyo ions waxay soo bandhigaan xaalad bilaash ah, taas oo si macmal ah loo isticmaali karo iyada oo la adeegsanayo habaynta goobta magnetic, sida habka etching semiconductor, habka CVD, PVD iyo habka IMP.

Waa maxay tamarta sare? Aragti ahaan, heerkulka sare iyo inta jeer ee RF labadaba waa la isticmaali karaa. Guud ahaan, heerkulka sare waa wax aan macquul aheyn in la gaaro. Shuruudda heerkulku aad buu u sarreeyaa waxaana laga yaabaa inay u dhowdahay heerkulka qorraxda. Asal ahaan waa wax aan macquul aheyn in lagu gaaro habka. Sidaa darteed, warshaduhu waxay inta badan isticmaalaan RF-soo noqnoqda si loo gaaro. Plasma RF waxay gaari kartaa ilaa 13MHz+.

Tungsten hexafluoride waxaa lagu balaaseeyaa iyadoo la adeegsanayo falgal koronto, ka dibna uumiga-deposited by a magnetic field. Atomyada W waxay la mid yihiin baalasha goose jiilaalka oo waxay ku dhacaan dhulka hoostooda ficilka cuf-isjiidadka. Si tartiib ah, atomyada W ayaa lagu shubaa godadka, oo ugu dambeyntii ka buuxsamay godadka si ay u sameeyaan isku xirnaanta birta. Marka lagu daro ku shubista W atamka ee godadka, sidoo kale ma lagu shubi doonaa dusha sare ee Waferka? Haa, xaqiiqdii. Guud ahaan, waxaad isticmaali kartaa habka W-CMP, kaas oo ah waxa aan ugu yeerno habka wax lagu shiido si loo saaro. Waxay la mid tahay isticmaalka xaaqinka si aad dhulka u xaaqdo baraf culus ka dib. Barafka dhulka ku yaal waa la xaaqay, laakiin barafka godka ku yaal ayaa sii ahaan doona. Hoos, qiyaas ahaan isku mid.