Habka wax soo saarka ee warshadaha wafer-ka semiconductor-ka oo leh habab wax soo saar oo horumarsan, waxaa loo baahan yahay ku dhawaad ​​50 nooc oo gaas oo kala duwan. Gaasaska guud ahaan waxaa loo qaybiyaa gaasaska waaweyn iyogaasas gaar ah.

Adeegsiga gaasaska warshadaha microelectronics iyo semiconductor Isticmaalka gaasaska ayaa had iyo jeer door muhiim ah ka ciyaaray hababka semiconductor-ka, gaar ahaan hababka semiconductor-ka waxaa si weyn loogu isticmaalaa warshadaha kala duwan. Laga bilaabo ULSI, TFT-LCD ilaa warshadaha micro-electromechanical (MEMS) ee hadda jira, hababka semiconductor-ka waxaa loo isticmaalaa hababka wax soo saarka badeecadaha, oo ay ku jiraan qallajinta qalalan, oksaydhka, ku-tallaalidda ion-ka, dhigista filimka khafiifka ah, iwm.

Tusaale ahaan, dad badan ayaa og in jajabku ka samaysan yahay ciid, laakiin marka la eego habka oo dhan ee wax soo saarka jajabka, waxaa loo baahan yahay agab badan, sida photoresist, dareeraha dhalaalinta, walxaha bartilmaameedka ah, gaaska gaarka ah, iwm. waa lama huraan. Baakadaha dambe waxay sidoo kale u baahan yihiin substrates, interposer, frames rasaas ah, agab isku xidhka, iwm. oo ah agabyo kala duwan. Gaasaska gaarka ah ee elektaroonigga ah waa agabka labaad ee ugu weyn kharashaadka wax soo saarka semiconductor-ka ka dib wafers silicon ah, oo ay ku xigto maaskaro iyo photoresists.

Nadiifnimada gaaska waxay saameyn go'aan leh ku leedahay waxqabadka qaybaha iyo wax soo saarka wax soo saarka, badbaadada gaaskana waxay la xiriirtaa caafimaadka shaqaalaha iyo badbaadada hawlgalka warshadda. Maxay daahirnimada gaaska saameyn weyn ugu leedahay khadadka geeddi-socodka iyo shaqaalaha? Tani ma aha buunbuunin, laakiin waxaa go'aamiya astaamaha khatarta ah ee gaaska laftiisa.

Kala soocidda gaasaska caadiga ah ee warshadaha semiconductor-ka

Gaaska Caadiga ah

Gaaska caadiga ah waxaa sidoo kale loo yaqaan gaaska bulk: waxa uu tilmaamayaa gaaska warshadaha oo leh baahi nadiif ah oo ka hooseysa 5N iyo mugga wax soo saarka iyo iibka oo weyn. Waxaa loo qaybin karaa gaaska kala soocida hawada iyo gaaska macmal ah iyadoo loo eegayo hababka diyaarinta ee kala duwan. Haydarojiin (H2), nitrogen (N2), ogsijiin (O2), argon (A2), iwm.;

Gaaska Gaarka ah

Gaaska gaarka ah waxaa loola jeedaa gaaska warshadaha ee loo isticmaalo meelo gaar ah oo leh shuruudo gaar ah oo ku saabsan daahirnimada, kala duwanaanta, iyo sifooyinka. Inta badanSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... iyo wixii la mid ah.

Noocyada Gaasaska Istiraatiijiga ah

Noocyada gaasaska gaarka ah: daxal, sun ah, guban kara, guban kara, aan firfircoonayn, iwm.
Gaasaska semiconductor-ka ee sida caadiga ah loo isticmaalo waxaa loo kala saaraa sidan soo socota:
(i) Wax sun ah/sumoobay:HCl、BF3、 WF6、 HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、BCl3…
(ii) Ololi kara: H2,CH4、SiH4PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO...
(iii) Gubasho: O2、Cl2、N2O、NF3…
(iv) Aan firfircoonayn: N2,CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、Isaga…

Habka wax soo saarka jajabyada semiconductor-ka, qiyaastii 50 nooc oo gaasas gaar ah (oo loo yaqaan gaasas gaar ah) ayaa loo isticmaalaa oksaydheynta, faafinta, dhigista, xoqidda, duritaanka, sawir-qaadista iyo hababka kale, tallaabooyinka geeddi-socodka oo dhanna waxay dhaafaan boqolaal. Tusaale ahaan, PH3 iyo AsH3 waxaa loo isticmaalaa ilo fosfooraska iyo arsenic ah habka beerista ion-ka, gaasaska ku salaysan F-ga CF4, CHF3, SF6 iyo gaasaska halogen-ka CI2, BCI3, HBr ayaa si caadi ah loogu isticmaalaa habka qodista, SiH4, NH3, N2O habka dhigista filimka, F2/Kr/Ne, Kr/Ne habka sawir-qaadista.

Marka laga eego dhinacyada kor ku xusan, waxaan fahmi karnaa in gaasaska badan ee semiconductor-ka ay waxyeello u leeyihiin jirka aadanaha. Gaar ahaan, qaar ka mid ah gaasaska, sida SiH4, waa kuwo is-shida. Ilaa iyo inta ay daadanayaan, waxay si xoog leh uga fal celin doonaan oksijiinta hawada waxayna bilaabi doonaan inay gubaan; AsH3-na aad buu u sun yahay. Daadasho kasta oo yar waxay waxyeello u geysan kartaa nolosha dadka, sidaa darteed shuruudaha badbaadada ee naqshadeynta nidaamka xakamaynta ee isticmaalka gaasaska gaarka ah ayaa si gaar ah u sarreeya.

Semiconductors waxay u baahan yihiin gaasas saafi ah oo sarreeya si ay u yeeshaan "saddex darajo"

Nadiifnimada gaaska

Jawiga wasakhda ah ee gaaska waxaa badanaa lagu muujiyaa boqolkiiba saafinimada gaaska, sida 99.9999%. Guud ahaan, shuruudaha daahirnimada ee gaasaska gaarka ah ee elektaroonigga ah waxay gaaraan 5N-6N, waxaana sidoo kale lagu muujiyaa saamiga mugga ee maaddada wasakhda ah ee jawiga ppm (qaybtii milyan), ppb (qaybtii bilyan), iyo ppt (qaybtii trillion). Goobta semiconductor-ka elektaroonigga ah waxay leedahay shuruudaha ugu sarreeya ee daahirnimada iyo xasilloonida tayada ee gaasaska gaarka ah, daahirnimada gaasaska gaarka ah ee elektaroonigga ahna guud ahaan way ka weyn tahay 6N.

Qallayl

Inta ku jirta biyaha raadadka ah ee gaaska, ama qoyaanka, waxaa badanaa lagu muujiyaa dhibicda dhaska, sida dhibicda dhaska ee jawiga -70℃.

Nadaafad

Tirada walxaha wasakhaysan ee ku jira gaaska, oo ah walxaha cabbirka walaxda ah ee µm, waxaa lagu muujiyaa inta qaybood/M3. Hawada la cadaadiyay, badanaa waxaa lagu muujiyaa mg/m3 oo ah haraaga adag ee aan laga fursan karin, oo ay ku jirto saliidda ku jirta.