Gaaska CF4 ee Shiinaha ee aadka u wanaagsan ee Nadiifka Sare leh ee Kaarboon Tetrafluoride ee Warshadaha Semiconductor-ka ah

Waxaan si joogto ah u fulinaa niyaddayada "Hal-abuurnimo horumar keenaysa, tayo sare leh oo nolol gaar ah sameysa, faa'iidada suuqgeynta maamulka, dhibcaha deynta oo soo jiidanaya macaamiisha iibka kulul ee Shiinaha ee aadka u wanaagsan ee Kaarboon Tetrafluoride CF4 Gaaska Warshadaha Semiconductor Etching, Waxaan si diirran u soo dhaweyneynaa asxaabta ka kala socota dhammaan qaybaha nolosha maalinlaha ah si aan u raadino iskaashi wadajir ah oo aan u dhisno berri mid aad u qurux badan oo qurux badan.
Waxaan si joogto ah u fulinaa ruuxa "Hal-abuurnimo horumar keenaysa, tayo sare leh oo lagu helo nolol gaar ah, faa'iidada suuqgeynta maamulka, dhibcaha deynta oo soo jiidanaya macaamiishaShiinaha CF4 Gaaska Qaboojiyaha, Silsiladda GaaskaWaxaan nahay lammaanahaaga lagu kalsoonaan karo ee suuqyada caalamiga ah ee leh alaabada tayada ugu fiican. Faa'iidooyinkayagu waa hal-abuur, dabacsanaan iyo isku hallayn la sameeyay labaatankii sano ee la soo dhaafay. Waxaan diiradda saarnaa bixinta adeeg macaamiisheenna oo ah qayb muhiim ah oo lagu xoojinayo xiriirkeenna muddada dheer. Helitaanka joogtada ah ee xalalka heerka sare ah oo ay weheliso adeeggayaga iibka kahor iyo iibka kadib ee aadka u wanaagsan wuxuu hubiyaa tartan xooggan oo ku jira suuq caalami ah oo sii kordhaya.

Halbeegyada Farsamada

Kaarboon tetrafluoride waa haydaro-biyood halogenated ah oo leh qaacidada kiimikada CF4. Waxaa loo arki karaa inay tahay haydaro-biyood halogenated ah, methane halogenated ah, perfluorocarbon, ama isku-darka aan organic ahayn. Kaarboon tetrafluoride waa gaas aan midab lahayn oo aan ur lahayn, oo aan ku milmi karin biyaha, kuna milmi kara benzene iyo chloroform. Waa mid deggan heerkulka caadiga ah iyo cadaadiska, iska ilaali oksaydhiyeyaasha xooggan, walxaha guban kara ama guban kara. Gaas aan guban karin, cadaadiska gudaha ee weelka ayaa kordhi doona marka uu la kulmo kulayl sare, waxaana jira khatar ah dildilaac iyo qarax. Waa mid kiimiko ahaan deggan oo aan guban karin. Kaliya falgalka birta ammonia-sodium ee dareeraha ah ayaa ka shaqayn kara heerkulka qolka. Kaarboon tetrafluoride waa gaas sababa saameynta aqalka dhirta lagu koriyo. Aad ayuu u deggan yahay, wuxuu ku jiri karaa jawiga muddo dheer, waana gaas aqalka dhirta lagu koriyo oo aad u awood badan. Kaarboon tetrafluoride waxaa loo isticmaalaa habka xoqidda balaasmaha ee wareegyada isku dhafan ee kala duwan. Waxaa sidoo kale loo isticmaalaa gaas laysar ah, waxaana loo isticmaalaa qaboojiyeyaasha heerkulka hooseeya, dareerayaasha, saliidaha, walxaha dahaarka leh, iyo qaboojiyeyaasha qalabka dareemayaasha infrared-ka. Waa gaaska ugu isticmaalka badan warshadaha microelectronics-ka. Waa isku darka gaaska saafiga sare ee tetrafluoromethane iyo gaaska saafiga sare ee tetrafluoromethane iyo oksijiinta saafiga sare leh. Waxaa si weyn loogu isticmaali karaa silicon, silicon dioxide, silicon nitride, iyo galaaska phosphosilicate. Qallajinta agabka filimada khafiifka ah sida tungsten iyo tungsten ayaa sidoo kale si weyn loogu isticmaalaa nadiifinta dusha sare ee aaladaha elektarooniga ah, soo saarista unugyada qorraxda, tiknoolajiyada laysarka, qaboojinta heerkulka hooseeya, kormeerka daadashada, iyo saabuunta wax soo saarka wareegga daabacan. Waxaa loo isticmaalaa qaboojiye heerkul hooseeya iyo tignoolajiyada qallajinta balaasmaha ee wareegyada isku dhafan. Taxaddarrada kaydinta: Ku kaydi bakhaar gaas oo qabow, hawo leh oo aan guban karin. Ka fogow ilaha dabka iyo kulaylka. Heerkulka kaydinta waa inaanu dhaafin 30°C. Waa in si gaar ah loogu kaydiyaa walxaha guban kara (si fudud u guban kara) iyo oksaydhiyeyaasha, lagana fogaadaa kaydinta isku dhafan. Meesha kaydinta waa in lagu qalabeeyaa qalab daawayn degdeg ah oo daadanaya.

Codsiga:

① Qaboojiyaha:

Tetrafluoromethane mararka qaarkood waxaa loo isticmaalaa qaboojiye heerkul hooseeya.

② Qallajinta:

Waxaa loo isticmaalaa farsamada elektaroonigga ah ee microfabrication-ka oo keliya ama iyadoo lala kaashanayo oksijiin sida balaasma wax lagu dahaadho silicon, silicon dioxide, iyo silicon nitride.

Xirmo caadi ah:

Faa'iidada:

①Daacadnimo sare, xaruntii ugu dambeysay;

② Soo saaraha shahaadada ISO;

③Gaaris degdeg ah;

④Nidaamka falanqaynta khadka tooska ah ee xakamaynta tayada tallaabo kasta;

⑤ Shuruud sare iyo hab taxaddar leh oo loogu talagalay maaraynta dhululubada ka hor inta aan la buuxin;Waxaan si joogto ah u fulinaa niyaddayada "Hal-abuurnimo horumar keenaysa, tayo sare leh oo nolol gaar ah sameysa, faa'iidada suuqgeynta maamulka, dhibcaha deynta oo soo jiidanaya macaamiisha iibka kulul ee Shiinaha ee aadka u wanaagsan ee Kaarboon Tetrafluoride CF4 Gaaska Warshadaha Semiconductor Etching, Waxaan si diirran u soo dhaweyneynaa asxaabta ka kala socota dhammaan qaybaha nolosha maalinlaha ah si aan u raadino iskaashi wadajir ah oo aan u dhisno berri mid aad u qurux badan oo qurux badan.
Iibinta aadka u wanaagsanShiinaha CF4 Gaaska Qaboojiyaha, Silsiladda GaaskaWaxaan nahay lammaanahaaga lagu kalsoonaan karo ee suuqyada caalamiga ah ee leh alaabada tayada ugu fiican. Faa'iidooyinkayagu waa hal-abuur, dabacsanaan iyo isku hallayn la sameeyay labaatankii sano ee la soo dhaafay. Waxaan diiradda saarnaa bixinta adeeg macaamiisheenna oo ah qayb muhiim ah oo lagu xoojinayo xiriirkeenna muddada dheer. Helitaanka joogtada ah ee xalalka heerka sare ah oo ay weheliso adeeggayaga iibka kahor iyo iibka kadib ee aadka u wanaagsan wuxuu hubiyaa tartan xooggan oo ku jira suuq caalami ah oo sii kordhaya.